SiC 外延的污染控制要求
相比硅基产线，SiC 外延对金属离子与颗粒更敏感。载具与夹具不仅要耐清洗药液（如 SC-1/SC-2、稀 HF）与高温，还需低析出、低释气，并与 SEMI 高纯要求对齐。
| 材料 | 耐温 | 高纯/耐蚀 | 适用要点 |
|---|---|---|---|
| PEEK | 约 250℃ | 优 | 载具、夹具、结构件 |
| PI | 约 260–300℃ | 优 | 高温绝缘、夹持 |
| PEI | 约 170–180℃ | 良 | 透明结构、盒体 |
| PFA | 约 260℃ | 优（高纯） | 管路、接头、内衬 |
典型部件
外延后清洗载具、晶圆传输盒与卡槽、夹具与定位件、高纯管路接头。更多半导体方案见半导体行业材料解决方案。
高纯与析出控制
半导体级件优先选用高纯牌号并做洁净处理；涉及焊接与表面粗糙度要求可参考半导体级 PFA 管路。
常见问题（FAQ）
Q：SiC 外延载具用什么？
A：PEEK 与 PI 因耐高温、低析出常用于载具与夹具，具体按清洗与温度工况定。
Q：需要 SEMI 合规吗？
A：半导体级件按 SEMI 与企业高纯要求组织，相关认证以有效证书为准。
Q：能耐 HF 清洗吗？
A：PEEK/PI/PFA 耐稀 HF 较好，强浓度与高温需验证。
Q：可做晶圆盒吗？
A：PEEK/PEI 可加工晶圆盒与卡槽，支持按图纸打样。